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2026

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基于白光干涉測(cè)量的鏡筒定位面平面度管控要點(diǎn)

摘要鏡筒定位面平面度是保障光學(xué)系統(tǒng)光軸精度與成像質(zhì)量的核心指標(biāo)，精準(zhǔn)管控其平面度是光學(xué)器件裝配的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。白光干涉測(cè)量技術(shù)憑借非接觸、納米級(jí)精度的優(yōu)勢(shì)，為平面度...

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2026

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白光干涉測(cè)量評(píng)估 LNG 深冷硬密封蝶閥平面度抗?jié)B漏特性

摘要LNG深冷硬密封蝶閥是液化天然氣儲(chǔ)存、輸送系統(tǒng)的核心密封部件，工作于-162℃深冷工況，其密封面平面度直接決定抗?jié)B漏特性，平面度偏差易引發(fā)LNG泄漏，危及生...

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2026

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白光干涉測(cè)量表征微流控基底貼合面平面度及微米縫隙影響分析

摘要微流控芯片基底貼合面的平面度及微米級(jí)縫隙直接影響器件密封性能與流體操控精度，精準(zhǔn)表征二者特性是優(yōu)化封裝工藝的關(guān)鍵。白光干涉測(cè)量技術(shù)具有非接觸、納米級(jí)分辨率的...

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2026

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05

鏡筒定位面平面度對(duì)光學(xué)鏡片形變的白光干涉測(cè)量研究

摘要光學(xué)鏡筒定位面平面度直接影響鏡片裝配精度，易引發(fā)鏡片微觀形變，進(jìn)而降低光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量。白光干涉測(cè)量技術(shù)憑借非接觸、納米級(jí)分辨率優(yōu)勢(shì)，可精準(zhǔn)表征定位面平面度...

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