
高精度檢測 MEMS 麥克風振膜振動參數與模態,快速排查結構問題。實測對標仿真優化結構,提升聲學靈敏度與頻響表現。 | 
壓力傳感膜片振動與形變,排查應力及工藝缺陷,對標仿真優化結構,提升精度響應,兼顧可靠性測試與量產質檢。 | 
MEMS 懸臂梁振動模態、諧振頻率與形變,排查應力缺陷,對標仿真優化結構,提升傳感靈敏度,適配研發調校與量產質檢。 |

壓力傳感器感壓膜片的振動模態、固有頻率與形變分布,排查應力不均、工藝缺陷;實測數據對標仿真優化結構。 | 
CMUT 振膜高頻振動模態、頻響檢測,排查缺陷;對標仿真優化結構,提升換能效率與帶寬;校準陣列單元一致性。 | 
CMUT 振膜高頻振動模態、頻響檢測,排查缺陷;對標仿真優化結構,提升換能效率與帶寬;校準陣列單元一致性。 |