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融合2D/D缺陷判別測量

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

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2D 視覺高速拍攝&定位

融合2D/D缺陷判別測量

500kHz激光掃描頻率，同步掃描3D輪廓形貌

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同軸落射掃描原理，無懼“遮擋”等復雜結構

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2D視覺捕獲缺陷圖片

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微米級精度，激光掃描3D缺陷形貌

晶圓耦合高精度定位

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融合2D/D缺陷判別測量

非標參數請與工程師聯系:18565137375

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