產品參數

項目名稱釋義說明
X、Y 軸有效行程1320mm x2150mm搭配空氣減震器
X、Y 軸驅動形式手動/電動 可選配
重現性+0.5UM
Z 軸最大行程150mm
Z 軸驅動形式伺服馬達搭配閉環控制及研磨絲桿
Z 軸最小解析度0.1um/pulse
注：依實際設計配置為準


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