摘要

鏡筒定位面平面度是決定光學系統光軸精度的核心因素，平面度偏差易導致光軸偏移、傾斜，進而影響光學系統成像穩定性。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度優勢，可精準表征鏡筒定位面平面度特征。本文采用白光干涉測量技術檢測鏡筒定位面平面度，探究平面度偏差對光軸精度的影響規律，為光學鏡筒裝配及光軸精度管控提供技術支撐。

關鍵詞

白光干涉測量；鏡筒定位面；平面度；光軸精度；影響分析

引言

光學系統的光軸精度直接決定成像質量與工作可靠性，鏡筒定位面作為光學鏡片的裝配基準，其平面度偏差會導致鏡片裝配傾斜，引發光軸偏移，破壞光軸一致性。傳統測量方法難以精準捕捉定位面微觀平面度偏差，無法有效關聯平面度與光軸精度的內在聯系。白光干涉測量可清晰呈現定位面微觀形貌，實現平面度精準檢測，為探究其對光軸精度的影響提供可靠技術手段。

實驗方案

實驗選用鋁合金鏡筒，定位面尺寸18mm×18mm，制備不同平面度偏差的鏡筒樣本。搭建白光干涉測量平臺，調試光路確保檢測精度，對鏡筒定位面進行全域掃描，采集平面度數據；將標準鏡片裝配至鏡筒，采用光軸偏差測量儀檢測光軸偏移量，對比分析不同平面度偏差與光軸精度的對應關系。

實驗結果與分析

實驗表明，白光干涉測量可精準檢測鏡筒定位面平面度，測量精度達±2nm。當定位面平面度偏差≤0.003mm時，光軸偏移量小于5″，滿足光學系統光軸精度要求；當偏差超過0.006mm，光軸偏移量增至12″以上，嚴重影響系統成像。分析可知，平面度偏差導致鏡片裝配基準傾斜，進而引發光軸偏移，平面度偏差越大，光軸精度越低，白光干涉技術可實現平面度精準檢測，為光軸精度管控提供數據支撐。

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四大核心技術革新，突破行業測量瓶頸

一鍵自動掃描：徹底破解傳統光學測量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業痛點，全面兼容平面度、臺階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測量需求，適配噴油嘴核心部位檢測。

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（新啟航半導體，專業提供綜合光學3D測量解決方案）