1 鈣鈦礦電池死區(qū)寬度成因及工藝影響
鈣鈦礦電池組件規(guī)模化生產(chǎn)中,激光刻蝕形成的邊緣無(wú)效區(qū)域即為電池死區(qū),主要位于P1、P2、P3刻蝕溝槽邊緣及電池片串間銜接位置。死區(qū)無(wú)光電發(fā)電能力,僅承擔(dān)絕緣隔離與電路導(dǎo)通作用,其寬度尺寸直接決定組件有效受光面積大小。死區(qū)寬度越寬,電池有效發(fā)電區(qū)域占比越小,幾何填充因子GFF數(shù)值隨之降低,直接制約組件光電轉(zhuǎn)換效率與量產(chǎn)功率增益。刻蝕工藝偏差、邊緣形貌毛刺、薄膜層殘留及溝槽側(cè)壁輪廓不規(guī)則,均會(huì)造成死區(qū)寬度一致性差、實(shí)際尺寸偏離設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),精準(zhǔn)把控死區(qū)寬度并嚴(yán)控全域均勻性,是提升GFF、拔高鈣鈦礦電池量產(chǎn)發(fā)電性能的核心關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
2 傳統(tǒng)死區(qū)寬度測(cè)量方式現(xiàn)存不足
當(dāng)前鈣鈦礦行業(yè)常規(guī)檢測(cè)手段難以滿足死區(qū)寬度高精度精細(xì)化管控需求。普通光學(xué)顯微鏡僅能完成二維平面目視觀測(cè),只能粗略估測(cè)死區(qū)宏觀寬度,無(wú)法識(shí)別邊緣微觀毛刺、薄膜臺(tái)階起伏帶來(lái)的實(shí)際有效死區(qū)偏差,測(cè)量精度低、數(shù)據(jù)重復(fù)性差。接觸式輪廓儀易劃傷鈣鈦礦功能性薄膜,破壞電池樣品完整性,且僅能單點(diǎn)采集輪廓數(shù)據(jù),無(wú)法匹配全域死區(qū)邊緣形貌同步檢測(cè)需求。傳統(tǒng)測(cè)量模式無(wú)法同步關(guān)聯(lián)寬度尺寸與表面微觀形貌,難以為工藝微調(diào)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù),嚴(yán)重制約GFF優(yōu)化提升效率。
3 白光干涉高精度測(cè)量賦能GFF優(yōu)化升級(jí)
白光干涉儀依托非接觸短相干干涉測(cè)量技術(shù),專為鈣鈦礦電池死區(qū)寬度檢測(cè)打造高精度一體化測(cè)量方案。設(shè)備無(wú)需接觸樣品,全程無(wú)損保護(hù)電池薄膜結(jié)構(gòu),單次掃描即可精準(zhǔn)標(biāo)定死區(qū)實(shí)際邊緣邊界,快速測(cè)量全域死區(qū)寬度數(shù)值,同步采集邊緣三維形貌、臺(tái)階高度及側(cè)壁粗糙度等關(guān)聯(lián)參數(shù)。通過(guò)3D形貌可視化成像與量化數(shù)據(jù)分析,可精準(zhǔn)識(shí)別刻蝕殘留、邊緣畸變等造成的死區(qū)超標(biāo)問(wèn)題,為激光刻蝕功率、掃描速度等工藝參數(shù)調(diào)校提供直觀數(shù)據(jù)依據(jù),持續(xù)壓縮無(wú)效死區(qū)寬度、提升電池有效受光面積,穩(wěn)步優(yōu)化幾何填充因子GFF,助力鈣鈦礦電池組件量產(chǎn)性能提質(zhì)增效。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案。
大視野3D白光干涉儀——涂層表征納米級(jí)測(cè)量解決方案

突破傳統(tǒng)測(cè)量局限,定義涂層表征新范式!大視野3D白光干涉儀依托核心創(chuàng)新技術(shù),一機(jī)解鎖納米級(jí)全場(chǎng)景測(cè)量,以高效與精密兼具的優(yōu)勢(shì),適配各類涂層表征檢測(cè)需求,重新詮釋工業(yè)涂層精密測(cè)量的核心標(biāo)準(zhǔn)。

核心優(yōu)勢(shì):大視野+高精度,賦能涂層精準(zhǔn)表征
打破行業(yè)常規(guī)壁壘,徹底解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡僅能單孔使用、需兩臺(tái)儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量的痛點(diǎn)。本設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭,配備15mm超大單幅視野,搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪,一臺(tái)設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量需求,可通過(guò)拼接實(shí)現(xiàn)大視野觀察涂層表面質(zhì)量,高效適配涂層表征復(fù)雜檢測(cè)場(chǎng)景,無(wú)需頻繁切換設(shè)備,大幅提升檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度。
涂層表征實(shí)測(cè)應(yīng)用圖示

(圖示為實(shí)測(cè)涂層厚度,精準(zhǔn)測(cè)得75.2nm,為涂層厚度一致性管控提供可靠數(shù)據(jù)支撐)

(圖示為涂層厚度專項(xiàng)測(cè)量,清晰呈現(xiàn)涂層厚度分布,助力涂層工藝優(yōu)化)

(圖示為涂層劃痕分析,測(cè)得劃痕厚度1.96μm,精準(zhǔn)捕捉涂層劃痕細(xì)節(jié),為涂層缺陷檢測(cè)與耐用性評(píng)估提供依據(jù))
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