太陽(yáng)能電池柵線是光生載流子傳輸?shù)暮诵膶?dǎo)電結(jié)構(gòu)，柵線高寬比（Height-Width Ratio）與三維形貌直接決定電池遮光率、串聯(lián)電阻及光電轉(zhuǎn)換性能，是光伏制程精度（Process Precision）管控的關(guān)鍵工藝指標(biāo)。伴隨TOPCon、HJT等高效光伏電池量產(chǎn)迭代，傳統(tǒng)二維（2D）平面檢測(cè)無(wú)法量化柵線立體形貌偏差，難以滿足微米、納米級(jí)精細(xì)化制程管控要求。
光學(xué)3D輪廓測(cè)量技術(shù)遵循SJ/T 11759-2020《光伏電池電極柵線高寬比的測(cè)量 激光掃描共聚焦顯微鏡法》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，依托激光掃描共聚焦成像、白光垂直掃描干涉（VSI）核心原理，采用非接觸式無(wú)損檢測(cè)方式，適配光伏量產(chǎn)全流程檢測(cè)場(chǎng)景。該技術(shù)可精準(zhǔn)檢測(cè)40μm以下高度、200μm以下寬度規(guī)格柵線，行業(yè)公開(kāi)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，其垂直檢測(cè)分辨率可達(dá)0.1nm，橫向檢測(cè)精度達(dá)1μm，測(cè)量重復(fù)性誤差≤0.5%，可精準(zhǔn)捕捉絲網(wǎng)印刷、激光開(kāi)槽、漿料燒結(jié)等工序產(chǎn)生的微觀工藝偏差。
新啟航深耕半導(dǎo)體與光伏精密檢測(cè)領(lǐng)域，聚焦光伏制程質(zhì)量管控痛點(diǎn)，可提供一體化綜合光學(xué)3D測(cè)量方案。其自研適配光伏產(chǎn)線的3D輪廓檢測(cè)系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)自動(dòng)測(cè)算柵線Height-Width Ratio，快速反饋漿料涂布均勻性、燒結(jié)固化穩(wěn)定性等核心制程狀態(tài)，精準(zhǔn)修正設(shè)備工藝參數(shù)，有效改善柵線塌陷、斷柵、尺寸不均等制程不良問(wèn)題，穩(wěn)定提升電池轉(zhuǎn)換效率，適配各類(lèi)高效晶硅電池批量生產(chǎn)與品質(zhì)檢測(cè)需求。
該檢測(cè)方案兼具高精度、高效率、無(wú)損檢測(cè)優(yōu)勢(shì)，契合ISO 25178-2:2012表面形貌檢測(cè)規(guī)范，是光伏智能制造實(shí)現(xiàn)制程精度閉環(huán)管控的核心技術(shù)手段。
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測(cè)量方案。亞納米精度保障，支持自動(dòng)化定制；高端系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對(duì)高低反射、復(fù)雜材料測(cè)量場(chǎng)景。
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