一、光伏量產(chǎn)檢測(cè)痛點(diǎn)
薄膜光伏量產(chǎn)的核心工序?yàn)镻1/P2/P3激光結(jié)構(gòu)化劃線，是實(shí)現(xiàn)電池單片互聯(lián)的關(guān)鍵工藝。光伏薄膜為多層堆疊結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)過程中易出現(xiàn)劃線深度異常、膜層剝離不均、溝槽側(cè)壁殘缺等缺陷，進(jìn)而引發(fā)組件漏電、界面接觸電阻升高、膜層分層脫落等問題，直接降低電池填充因子與量產(chǎn)良率，制約光伏規(guī)模化量產(chǎn)落地。
傳統(tǒng)檢測(cè)依賴臺(tái)階儀單點(diǎn)抽檢模式，存在檢測(cè)效率低、覆蓋范圍有限的短板，無法識(shí)別薄膜微觀分層、微小過刻、淺刻等隱性缺陷，難以滿足產(chǎn)線全流程、全維度質(zhì)量管控需求。
二、白光干涉儀檢測(cè)方案優(yōu)勢(shì)
大視野3D白光干涉儀基于光學(xué)3D干涉成像技術(shù)，采用非接觸式無損檢測(cè)方式，可納米級(jí)精準(zhǔn)采集激光劃線溝槽深度、剖面形貌、薄膜平整度等核心數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)甄別微米級(jí)薄膜分層及各類工藝隱患。
設(shè)備可量化多層薄膜分層狀態(tài)，實(shí)時(shí)反饋激光功率、掃描速度等工藝參數(shù)偏差，輔助產(chǎn)線精準(zhǔn)校準(zhǔn)工藝參數(shù)，匹配不同功能薄膜刻蝕閾值，有效規(guī)避刻蝕熱損傷、層間剝離等質(zhì)量問題。量產(chǎn)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)驗(yàn)證，該檢測(cè)方案可顯著提升薄膜劃線一致性，大幅降低膜層分層不良率，穩(wěn)定組件量產(chǎn)良率與光電轉(zhuǎn)換性能。
三、設(shè)備核心技術(shù)革新（工業(yè)半導(dǎo)體級(jí)）
大視野融合高精度，突破傳統(tǒng)測(cè)量局限
打破傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備視野與精度無法兼顧的行業(yè)痛點(diǎn)，搭載0.6倍輕量化專用鏡頭，實(shí)現(xiàn)15.5mm超大單幅檢測(cè)視野，搭配四物鏡兼容轉(zhuǎn)塔設(shè)計(jì)，一臺(tái)設(shè)備即可覆蓋大視野觀測(cè)、納米級(jí)高精度測(cè)量雙重需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升產(chǎn)線檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。
相較于激光共聚焦設(shè)備高倍鏡頭視野狹小、僅能局部檢測(cè)的短板，該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)大視野全域掃描+納米級(jí)精度測(cè)量，適配光伏薄膜、半導(dǎo)體精密部件、光學(xué)器件等復(fù)雜樣品檢測(cè)場(chǎng)景。
2. 超精密測(cè)量能力，適配高端制程
設(shè)備可達(dá)6pm（0.006nm）超高測(cè)量精度，可精準(zhǔn)表征工件表面粗糙度（Ra/Rz）、端面平面度等微觀參數(shù)，完全滿足半導(dǎo)體芯片、超精密光學(xué)部件、光伏功能薄膜的嚴(yán)苛測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)，為精密制程質(zhì)控提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
四、行業(yè)應(yīng)用定位
新啟航專注提供一體化光學(xué)3D測(cè)量解決方案，依托白光干涉核心技術(shù)，賦能精密測(cè)量、半導(dǎo)體表征、工業(yè)質(zhì)檢、光伏量產(chǎn)質(zhì)控等場(chǎng)景，助力各行業(yè)實(shí)現(xiàn)制程優(yōu)化與產(chǎn)品迭代升級(jí)。
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