在量子點顯示(Quantum Dot Display)噴墨量產制程中,液滴容積均一性(Droplet Volume Uniformity)是保障像素陣列成型一致性與面板色彩穩定性的核心工藝指標。噴墨產線(Inkjet Production Line)多工況連續作業模式下,受墨水物性、噴頭狀態、驅動參數及環境擾動影響,微滴噴射狀態易產生離散偏差,直接造成基板成膜厚度不均、像素色準(Color Accuracy)偏移、局部發光差異等不良問題。因此,強化液滴容積均一性全流程生產管控,搭建高精度、可溯源的在線檢測體系,是提升噴墨制程良率與產品穩定性的關鍵。
量子點墨水(Quantum Dot Ink)摻雜納米光電顆粒,具備特殊的流變屬性,其動態粘度(Dynamic Viscosity)與表面張力(Surface Tension)會隨生產時長產生微弱衰減,搭配噴墨驅動波形(Inkjet Drive Waveform)的細微波動,極易引發容積漂移、衛星滴(Satellite Droplet)、畸形墨滴等噴射缺陷。傳統產線多采用二維成像抽檢與稱重統計方式,檢測精度僅能達到微米級,無法識別皮升級(pL)微量容積偏差,存在檢測滯后、誤差偏大、無法全覆蓋質控等短板,難以適配高端顯示精密量產標準。
白光干涉儀(White Light Interferometer, WLI)憑借納米級非接觸檢測優勢,可有效完善噴墨產線(Inkjet Production Line)檢測體系。設備基于白光干涉原理,對基板沉積墨點進行三維形貌掃描,通過干涉條紋解析與立體重構算法,精準測算單滴容積、膜厚分布、輪廓平整度等關鍵參數,精準捕捉傳統檢測手段無法識別的微小容積偏差與隱性成型缺陷,實現液滴容積均一性(Droplet Volume Uniformity)的量化評估與精準標定。
在量產應用中,可依托白光干涉儀建立常態化檢測機制,對RGB三色噴墨制程進行分時、分段參數采集,構建標準化工藝閾值數據庫。通過實時檢測數據反向校準噴頭驅動電壓、噴射頻率等核心參數,形成產線閉環質控邏輯,持續優化液滴噴射穩定性,從源頭管控容積離散問題,大幅提升噴墨產線整體工藝精度與量產一致性。新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案
大視野3D白光干涉儀 - 全域測量解決方案(工業及半導體專用)
突破傳統測量局限,定義精密測量(Precision Measurement)新范式!大視野3D白光干涉儀憑借核心創新技術,實現納米級(Nanoscale)全場景測量,以高效、精準的優勢,重新詮釋工業測量(Industrial Measurement)的高效與精密,為半導體(Semiconductor)、光學及各類精密部件檢測提供全方位技術支撐,適配多領域嚴苛測量需求。
四大核心技術革新(工業級標準,適配半導體場景)
一、大視野+高精度,打破行業常規
打破傳統設備局限,1倍以下物鏡(Objective Lens)可實現多場景適配,無需分開配備設備即可兼顧大視野觀測與高精度測量(High-Precision Measurement)。設備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭,擁有14mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4個物鏡的轉塔設計(Turret Design),一臺設備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求,適配各類復雜樣品檢測場景,無需頻繁切換設備,大幅提升檢測效率(Inspection Efficiency)與數據精準度(Data Accuracy)。

(以上為實測14mm端面平面度(Flatness),精準把控部件平面精度,為半導體器件、精密光學部件后續測量提供可靠基礎)

(以上為實測數據:6pm=0.006nm,精準表征表面粗糙度(Surface Roughness, Ra/Rz),滿足半導體芯片、超精密部件的超精密測量需求)
二、80°傾斜測量,突破平面限制
打破“白光干涉僅能測量平面”的行業認知,憑借領先的高角度測量技術(High-Angle Measurement Technology),可輕松應對80°陡峭斜面、錐面的測量需求,兼容度拉滿。一臺設備即可搞定全場景測量,無需額外配備專用測量儀器,進一步拓寬測量適用范圍,適配半導體封裝(Semiconductor Packaging)、精密機械加工等領域的異形部件檢測。

三、真彩色3D測量,解鎖全新體驗
突破行業技術瓶頸,在保留黑白CMOS干涉條紋解析能力的基礎上,實現RGB三原色真彩色成像(True Color Imaging),打破傳統白光干涉儀僅能呈現黑白畫面的局限。清晰呈現樣品形貌(Sample Morphology)與色彩細節,測量信息更全面、分析更直觀,讓測量數據更具參考價值,適配半導體器件表面缺陷檢測(Surface Defect Detection)等精細場景。

四、上下平面平行度測量,適配多場景需求
采用獨特光路設計(Optical Path Design),可實現非透明產品的厚度(Thickness)與上下平面平行度(Parallelism)測量,適配各類非透明精密部件、半導體多層結構器件的測量需求,進一步拓展設備適用場景,提升測量通用性(Versatility),降低多設備投入成本(Equipment Investment Cost)。
摩擦表面表征測量案例(工業及半導體領域專屬)
不同潤滑油摩擦試驗對比:測量摩擦表面的劃痕深度(Scratch Depth)、磨損面積(Wear Area),直觀呈現不同潤滑油的潤滑效果差異,為工業設備潤滑系統優化、半導體設備傳動部件保養提供數據支撐。
曲面滾軸摩擦表面測量:原始曲面滾軸摩擦表面無法量化測量結果,經曲面矯平(Surface Flattening)處理后,可精準完成摩擦量(Wear Amount)測量與評估,適配機械傳動部件(Mechanical Transmission Components)、半導體設備滾輪質檢場景。
激光鉆孔工藝后摩擦表面表征:對激光鉆孔(Laser Drilling)工藝后的摩擦試驗表面進行紋理檢測(Texture Detection),精準分析工藝參數對摩擦表面粗糙度、平整度(Flatness)的影響,適配半導體封裝(Semiconductor Packaging)、精密機械加工等領域。
汽車部件及半導體器件摩擦表面粗糙度測量:針對汽車各類摩擦部件,以及半導體器件接觸摩擦面,實現粗糙度(Ra/Rz)精準檢測,為部件質量把控(Quality Control)、半導體產品可靠性(Reliability)驗證提供權威數據支撐。

新啟航半導體,專業提供綜合光學3D測量解決方案(Integrated Optical 3D Measurement Solution),以核心技術賦能精密測量、半導體表征(Semiconductor Characterization)、工業質檢(Industrial Quality Inspection)等各類場景,助力各行業實現高質量發展與產品迭代升級!