嚴格把控噴墨工藝精度白光干涉儀精準測定微滴容積核心工藝參數(shù)
發(fā)布時間:
2026-05-25
作者:
新啟航半導體有限公司

在高端量子點顯示(Quantum Dot Display)噴墨制程中,噴墨工藝精度(Inkjet Process Precision)是制約像素成型一致性與畫面色彩性能的核心要素。微滴容積(Micro Droplet Volume)作為噴墨制程的關(guān)鍵核心參數(shù),其數(shù)值穩(wěn)定性、均勻性直接決定基板成膜厚度、像素色準(Color Accuracy)與發(fā)光均勻度。微滴容積出現(xiàn)微尺度偏差,極易引發(fā)像素色差、膜層厚薄不均、局部虛亮或暗點等制程缺陷,嚴重影響顯示面板整體品質(zhì)與量產(chǎn)良率,因此對微滴容積參數(shù)實施高精度檢測與標準化管控,是精細化噴墨工藝管控的核心環(huán)節(jié)。

量子點墨水(Quantum Dot Ink)含有納米光電功能顆粒,具備獨特的流變特性,其動態(tài)粘度(Dynamic Viscosity)、表面張力(Surface Tension)易受噴頭驅(qū)動波形(Inkjet Drive Waveform)、環(huán)境溫濕度及噴頭狀態(tài)影響,量產(chǎn)過程中易出現(xiàn)微滴容積離散、衛(wèi)星滴(Satellite Droplet)、噴射斷墨、微滴畸形等異常工況。傳統(tǒng)稱重法、二維光學成像檢測方式分辨率較低,無法精準識別皮升級(pL)微容積偏差,檢測誤差較大,難以滿足微納尺度噴墨工藝的高精度質(zhì)控需求。

白光干涉儀(White Light Interferometer, WLI)依托高精度白光干涉原理,可實現(xiàn)非接觸式、無損化的微尺度形貌與容積檢測。設(shè)備通過采集基板表面沉積微滴的三維微觀形貌,結(jié)合干涉條紋解析與三維重構(gòu)算法,精準測算微滴容積(Micro Droplet Volume)、局部膜厚、輪廓粗糙度等核心工藝參數(shù),可高效捕捉傳統(tǒng)檢測方式無法識別的微量容積超差與成型缺陷,檢測精度可達納米級,實現(xiàn)工藝參數(shù)的精準標定與數(shù)據(jù)溯源。

在實際生產(chǎn)管控中,可依托白光干涉儀完成RGB三色量子點噴墨微滴容積的常態(tài)化檢測與參數(shù)校準,建立標準化工藝閾值體系,聯(lián)動優(yōu)化噴墨驅(qū)動電壓、噴射頻率等核心參數(shù),構(gòu)建高精度閉環(huán)質(zhì)控體系。通過精準鎖定微滴容積參數(shù)偏差,持續(xù)優(yōu)化噴墨工藝精度,有效降低制程不良率,穩(wěn)定量子點像素成型品質(zhì),全面提升顯示面板色彩一致性與量產(chǎn)穩(wěn)定性。新啟航 專業(yè)提供綜合光學3D測量方案

嚴格把控噴墨工藝精度白光干涉儀精準測定微滴容積核心工藝參數(shù)


大視野3D白光干涉儀 - 全域測量解決方案(工業(yè)及半導體專用)

突破傳統(tǒng)測量局限,定義精密測量(Precision Measurement)新范式!大視野3D白光干涉儀憑借核心創(chuàng)新技術(shù),實現(xiàn)納米級(Nanoscale)全場景測量,以高效、精準的優(yōu)勢,重新詮釋工業(yè)測量(Industrial Measurement)的高效與精密,為半導體(Semiconductor)、光學及各類精密部件檢測提供全方位技術(shù)支撐,適配多領(lǐng)域嚴苛測量需求。


四大核心技術(shù)革新(工業(yè)級標準,適配半導體場景)

一、大視野+高精度,打破行業(yè)常規(guī)

打破傳統(tǒng)設(shè)備局限,1倍以下物鏡(Objective Lens)可實現(xiàn)多場景適配,無需分開配備設(shè)備即可兼顧大視野觀測與高精度測量(High-Precision Measurement)。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭,擁有14mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4個物鏡的轉(zhuǎn)塔設(shè)計(Turret Design),一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求,適配各類復雜樣品檢測場景,無需頻繁切換設(shè)備,大幅提升檢測效率(Inspection Efficiency)與數(shù)據(jù)精準度(Data Accuracy)。

嚴格把控噴墨工藝精度白光干涉儀精準測定微滴容積核心工藝參數(shù)


(以上為實測14mm端面平面度(Flatness),精準把控部件平面精度,為半導體器件、精密光學部件后續(xù)測量提供可靠基礎(chǔ))


嚴格把控噴墨工藝精度白光干涉儀精準測定微滴容積核心工藝參數(shù)

(以上為實測數(shù)據(jù):6pm=0.006nm,精準表征表面粗糙度(Surface Roughness, Ra/Rz),滿足半導體芯片、超精密部件的超精密測量需求)


二、80°傾斜測量,突破平面限制

打破“白光干涉僅能測量平面”的行業(yè)認知,憑借領(lǐng)先的高角度測量技術(shù)(High-Angle Measurement Technology),可輕松應對80°陡峭斜面、錐面的測量需求,兼容度拉滿。一臺設(shè)備即可搞定全場景測量,無需額外配備專用測量儀器,進一步拓寬測量適用范圍,適配半導體封裝(Semiconductor Packaging)、精密機械加工等領(lǐng)域的異形部件檢測。



三、真彩色3D測量,解鎖全新體驗

突破行業(yè)技術(shù)瓶頸,在保留黑白CMOS干涉條紋解析能力的基礎(chǔ)上,實現(xiàn)RGB三原色真彩色成像(True Color Imaging),打破傳統(tǒng)白光干涉儀僅能呈現(xiàn)黑白畫面的局限。清晰呈現(xiàn)樣品形貌(Sample Morphology)與色彩細節(jié),測量信息更全面、分析更直觀,讓測量數(shù)據(jù)更具參考價值,適配半導體器件表面缺陷檢測(Surface Defect Detection)等精細場景。


嚴格把控噴墨工藝精度白光干涉儀精準測定微滴容積核心工藝參數(shù)

四、上下平面平行度測量,適配多場景需求

采用獨特光路設(shè)計(Optical Path Design),可實現(xiàn)非透明產(chǎn)品的厚度(Thickness)與上下平面平行度(Parallelism)測量,適配各類非透明精密部件、半導體多層結(jié)構(gòu)器件的測量需求,進一步拓展設(shè)備適用場景,提升測量通用性(Versatility),降低多設(shè)備投入成本(Equipment Investment Cost)。

摩擦表面表征測量案例(工業(yè)及半導體領(lǐng)域?qū)伲?/p>

不同潤滑油摩擦試驗對比:測量摩擦表面的劃痕深度(Scratch Depth)、磨損面積(Wear Area),直觀呈現(xiàn)不同潤滑油的潤滑效果差異,為工業(yè)設(shè)備潤滑系統(tǒng)優(yōu)化、半導體設(shè)備傳動部件保養(yǎng)提供數(shù)據(jù)支撐。

曲面滾軸摩擦表面測量:原始曲面滾軸摩擦表面無法量化測量結(jié)果,經(jīng)曲面矯平(Surface Flattening)處理后,可精準完成摩擦量(Wear Amount)測量與評估,適配機械傳動部件(Mechanical Transmission Components)、半導體設(shè)備滾輪質(zhì)檢場景。

激光鉆孔工藝后摩擦表面表征:對激光鉆孔(Laser Drilling)工藝后的摩擦試驗表面進行紋理檢測(Texture Detection),精準分析工藝參數(shù)對摩擦表面粗糙度、平整度(Flatness)的影響,適配半導體封裝(Semiconductor Packaging)、精密機械加工等領(lǐng)域。

汽車部件及半導體器件摩擦表面粗糙度測量:針對汽車各類摩擦部件,以及半導體器件接觸摩擦面,實現(xiàn)粗糙度(Ra/Rz)精準檢測,為部件質(zhì)量把控(Quality Control)、半導體產(chǎn)品可靠性(Reliability)驗證提供權(quán)威數(shù)據(jù)支撐。


嚴格把控噴墨工藝精度白光干涉儀精準測定微滴容積核心工藝參數(shù)

新啟航半導體,專業(yè)提供綜合光學3D測量解決方案(Integrated Optical 3D Measurement Solution),以核心技術(shù)賦能精密測量、半導體表征(Semiconductor Characterization)、工業(yè)質(zhì)檢(Industrial Quality Inspection)等各類場景,助力各行業(yè)實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展與產(chǎn)品迭代升級!