引言

高壓加氫反應器是石油化工領域核心設備，其密封件平面度直接決定設備密封可靠性與運行安全。設備服役于高溫、高壓、強腐蝕工況，密封件易發生磨損、形變，導致平面度偏差，引發介質泄漏、設備停機等安全隱患與經濟損失。傳統接觸式測量精度不足且易損傷密封面，白光干涉測量憑借非接觸、高精度、高分辨率優勢，成為密封件平面度測量的優選技術，開展其應用研究具有重要工業價值。

白光干涉測量原理

該測量技術基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為光源，光束經分光鏡分為測量光與參考光，分別投射至高壓加氫反應器密封件表面與標準參考鏡，反射光匯聚形成干涉條紋。通過采集干涉信號重構密封件三維形貌，垂直分辨率達亞納米級，可精準捕捉微觀平面度缺陷，避免接觸式測量的二次損傷，高效獲取平面度特征參數，適配高壓設備密封件的精密測量需求。

測量實驗設計與應用

實驗選取高壓加氫反應器硬質合金密封件為被測對象，采用高精度白光干涉測量系統開展檢測。嚴格遵循石油化工設備檢測標準，清潔密封件表面去除腐蝕產物與雜質，調節系統參數確保測量精度。結果顯示，測量誤差控制在4nm以內，可精準識別磨損、腐蝕導致的平面度偏差，為密封件質量管控、失效分析及修復提供精準數據支撐，適配高壓加氫反應器的嚴苛運行要求。

新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案

多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測量設備

單臺設備搞定全維度精密測量，一站式覆蓋微納級平面度、深孔臺階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測，高效適配各種硬密封零部件測量需求。

四大核心技術革新，突破行業測量瓶頸

一鍵自動掃描：徹底破解傳統光學測量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業痛點，全面兼容平面度、臺階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測量需求，適配噴油嘴核心部位檢測。

（實測噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）

多臺階面平行度測量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測量，無法實現多臺階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺階測量能力，重復精度滿足5nm再現性。

自動化批量測量模式：單幅視野可達23×18mm，支持最大200mm視野全自動跑點測量，大幅提升批量檢測效率；針對更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專屬非標解決方案，靈活適配不同生產場景。

深錐孔角度精準測量：打破傳統面型測量儀功能單一的局限，在保障微納級平面度測量精度的基礎上，同步實現陡峭錐面、深錐孔角度的精準檢測，適用場景更廣泛，檢測能力更全面。

上下平面平行度專屬檢測：采用獨特光路設計，可實現非/透明產品的厚度與上下平面平行度同步測量，無需額外設備，簡化檢測流程，提升檢測效率。

新啟航半導體——專業綜合光學3D測量解決方案提供商，以核心技術賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測提供高效、精準、便捷的全流程服務！