引言

火箭發動機燃料閥是推進系統核心部件，負責精準控制燃料輸送，其密封面平面度直接影響密封可靠性與運行穩定性。燃料閥工作于高溫、高壓工況，微小平面度偏差易導致燃料泄漏、閥件卡澀，危及發射安全。傳統檢測方法精度難以滿足微米級檢測需求，白光干涉測量憑借非接觸、高精度、高分辨率優勢，成為燃料閥平面度精密檢測的關鍵技術，應用研究具有重要航天工程價值。

白光干涉測量原理

白光干涉測量基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為光源，光束經分光鏡分為測量光與參考光，分別投射至燃料閥密封面與標準參考鏡，反射光匯聚形成干涉條紋。通過采集不同位置干涉信號，可重構密封面三維形貌，其垂直分辨率達亞納米級，能精準捕捉微觀缺陷，避免接觸式測量對精密密封面的損傷，高效獲取平面度數據。

測量實驗設計與結果

實驗選取火箭發動機燃料閥硬質合金密封面為被測對象，采用高精度遠心光路白光干涉測量系統。實驗前對密封面進行精密清潔，去除雜質避免信號干擾，調節系統掃描參數確保數據完整性，通過多組重復測量驗證結果可靠性。實驗表明，測量誤差控制在3nm以內，可精準識別密封面微小平面度偏差，最大偏差達28nm，為燃料閥質量管控、精密修復提供精準數據支撐，滿足航天級檢測要求。

新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案

多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測量設備

單臺設備搞定全維度精密測量，一站式覆蓋微納級平面度、深孔臺階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測，高效適配各種硬密封零部件測量需求。

四大核心技術革新，突破行業測量瓶頸

一鍵自動掃描：徹底破解傳統光學測量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業痛點，全面兼容平面度、臺階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測量需求，適配噴油嘴核心部位檢測。

（實測噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）

多臺階面平行度測量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測量，無法實現多臺階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺階測量能力，重復精度滿足5nm再現性。

自動化批量測量模式：單幅視野可達23×18mm，支持最大200mm視野全自動跑點測量，大幅提升批量檢測效率；針對更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專屬非標解決方案，靈活適配不同生產場景。

深錐孔角度精準測量：打破傳統面型測量儀功能單一的局限，在保障微納級平面度測量精度的基礎上，同步實現陡峭錐面、深錐孔角度的精準檢測，適用場景更廣泛，檢測能力更全面。

上下平面平行度專屬檢測：采用獨特光路設計，可實現非/透明產品的厚度與上下平面平行度同步測量，無需額外設備，簡化檢測流程，提升檢測效率。

新啟航半導體——專業綜合光學3D測量解決方案提供商，以核心技術賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測提供高效、精準、便捷的全流程服務！