引言

超臨界CO?設備作為能源、化工領域的核心裝備，其密封性能直接決定設備運行安全性與穩定性。密封端面的平面度是影響密封效果的關鍵指標，超臨界工況下的高溫、高壓及介質腐蝕性，易導致密封端面出現平面度偏差，引發泄漏隱患。傳統測量技術精度有限，難以滿足密封端面精密檢測需求，白光干涉測量憑借非接觸、高精度的優勢，成為超臨界CO?設備密封平面度檢測的優選技術，具有重要工程應用價值。

白光干涉測量技術原理

本次檢測采用的白光干涉測量技術基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為測量光源。光束經分光鏡分為測量光與參考光，測量光投射至超臨界CO?設備密封端面，反射光與參考光匯聚形成干涉條紋。通過采集干涉信號，可重構密封端面三維形貌，精準捕捉微觀平面度缺陷，垂直分辨率達亞納米級，且非接觸測量方式可避免損傷精密密封端面，適配密封件檢測需求。

測量實驗與應用實踐

實驗選取超臨界CO?設備常用硬質合金密封端面為檢測對象，嚴格遵循相關行業檢測標準開展實驗。實驗前對密封端面進行清潔處理，去除介質殘留與氧化層，調節測量系統參數確保檢測精度。測量結果顯示，該技術測量誤差控制在3nm以內，可清晰識別密封端面微小平面度偏差，為密封件質量管控、故障排查提供精準量化數據，有效適配超臨界工況的嚴苛檢測要求。

新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案

多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測量設備

單臺設備搞定全維度精密測量，一站式覆蓋微納級平面度、深孔臺階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測，高效適配各種硬密封零部件測量需求。

四大核心技術革新，突破行業測量瓶頸

一鍵自動掃描：徹底破解傳統光學測量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業痛點，全面兼容平面度、臺階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測量需求，適配噴油嘴核心部位檢測。

（實測噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）

多臺階面平行度測量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測量，無法實現多臺階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺階測量能力，重復精度滿足5nm再現性。

自動化批量測量模式：單幅視野可達23×18mm，支持最大200mm視野全自動跑點測量，大幅提升批量檢測效率；針對更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專屬非標解決方案，靈活適配不同生產場景。

深錐孔角度精準測量：打破傳統面型測量儀功能單一的局限，在保障微納級平面度測量精度的基礎上，同步實現陡峭錐面、深錐孔角度的精準檢測，適用場景更廣泛，檢測能力更全面。

上下平面平行度專屬檢測：采用獨特光路設計，可實現非/透明產品的厚度與上下平面平行度同步測量，無需額外設備，簡化檢測流程，提升檢測效率。

新啟航半導體——專業綜合光學3D測量解決方案提供商，以核心技術賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測提供高效、精準、便捷的全流程服務！