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微流控封裝貼合平面度優化及白光干涉測量檢測技術應用

摘要微流控封裝貼合平面度直接影響器件密封性能與工作穩定性，優化平面度并采用精準檢測技術，是提升微流控芯片質量的關鍵。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度的優勢...

微流控封裝貼合平面度優化及白光干涉測量檢測技術應用

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LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機理與白光干涉測量表征

摘要LNG深冷硬密封蝶閥是液化天然氣儲存、輸送系統的核心部件，長期工作于-162℃深冷工況，其密封面平面度易發生形變，引發密封失效、LNG泄漏等隱患。明確平面度...

LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機理與白光干涉測量表征

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鏡筒定位面平面度與鏡片間隔精度的白光干涉測量應用

摘要鏡筒定位面平面度與鏡片間隔精度是決定光學系統成像質量的核心參數，二者偏差易導致光軸偏移、成像模糊等問題。白光干涉測量技術具備非接觸、納米級精度優勢，可實現兩...

鏡筒定位面平面度與鏡片間隔精度的白光干涉測量應用

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2026

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度的像質影響機理

摘要鏡筒定位面平面度偏差會通過鏡片裝配偏差誘發光學系統像質劣化，明確其影響機理是提升光學系統性能的關鍵。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度優勢，可精準表征定...

度的像質影響機理

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