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基于白光干涉測量的鏡筒定位面平面度管控要點

摘要鏡筒定位面平面度是保障光學系統光軸精度與成像質量的核心指標，精準管控其平面度是光學器件裝配的關鍵環節。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度的優勢，為平面度...

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白光干涉測量評估 LNG 深冷硬密封蝶閥平面度抗滲漏特性

摘要LNG深冷硬密封蝶閥是液化天然氣儲存、輸送系統的核心密封部件，工作于-162℃深冷工況，其密封面平面度直接決定抗滲漏特性，平面度偏差易引發LNG泄漏，危及生...

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白光干涉測量表征微流控基底貼合面平面度及微米縫隙影響分析

摘要微流控芯片基底貼合面的平面度及微米級縫隙直接影響器件密封性能與流體操控精度，精準表征二者特性是優化封裝工藝的關鍵。白光干涉測量技術具有非接觸、納米級分辨率的...

白光干涉測量表征微流控基底貼合面平面度及微米縫隙影響分析

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鏡筒定位面平面度對光學鏡片形變的白光干涉測量研究

摘要光學鏡筒定位面平面度直接影響鏡片裝配精度，易引發鏡片微觀形變，進而降低光學系統成像質量。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級分辨率優勢，可精準表征定位面平面度...

鏡筒定位面平面度對光學鏡片形變的白光干涉測量研究

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